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例題27 スロットダイの塗布解析
本例題について
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スロットダイによる膜の塗布工程を模擬した解析です。
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モデル上部から供給した塗布液が一定流速で移動する基板に塗布されていく様子を確認することができます。
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上流側の減圧の有無による違いを比較します。
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Femtetのバージョンや環境により結果が多少ことなります。
解析モデルダウンロード
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プロジェクトファイルをダウンロード(右クリックし、名前を付けてリンク先を保存してください。)
解析空間
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項目 |
条件 |
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解析空間 |
2次元 |
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モデル単位 |
mm |
解析条件
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項目 |
タブ |
条件 |
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ソルバの選択 |
流体解析[Bernoulli] |
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解析の種類 |
流体解析 |
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層流/乱流 |
流体解析 |
層流をチェック |
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流れの種類 |
流体解析 |
内部流れ:チェック 流体自動作成:チェックオフ |
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自由表面解析(VOF法) |
流体解析 |
自由表面解析(VOF法):チェック |
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自由表面解析(VOF法)の設定 |
流体解析 |
相の設定:「000_空気、Coating_Liquid」を登録
重力を考慮する:チェック 表面張力を考慮する:チェック 相ペアの設定:
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時間ステップ[自動] |
過渡解析 |
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メッシュ(流体)設定 |
メッシュ |
標準メッシュサイズ:0.025[mm] 積層メッシュを生成する:チェックオフ 要素の種類:4角形フリー/スイープメッシュ 流体部コントロールボリュームタイプ:要素中心型 |
モデル図
塗布液の初期状態を矩形のボディで設定しています。矩形のボディと重なっている部分が塗布液の初期形状となります。
塗布液は上部から供給されます。流速と流入する相として塗布液を指定します。
底面は塗布液を右側の出口に輸送するため、移動壁を指定します。
左側の開口部は、減圧なしモデルでは、自然流入/流出、減圧ありモデルでは負の圧力を指定します。

ボディ属性および材料の設定
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ボディ No./ボディタイプ |
ボディ属性名 |
材料名 |
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5/Face |
Slot_Die |
000_空気※ |
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6/Face |
Initial |
Coating_Liquid |
※空気は材料データベースを利用
塗布液の材料定数は以下のように設定しています。
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材料名 |
タブ |
定数 |
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Coating_Liquid |
密度 |
1200[kg/m3] |
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粘度 |
0.025[Pa・s] |
境界条件
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境界条件名/トポロジ |
タブ |
境界条件の種類 |
条件 |
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Inlet/Edge |
流体 |
流入 |
強制流入を選択 流速:0.17[m/s] 自由表面解析(VOF法)の設定: 流入する相:Coating_Liquid |
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Outlet/Edge |
流体 |
流入/流出 |
自然流入/流出 |
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Pressure_Inlet/Face |
流体 |
流入/流出 |
減圧なし:自然流入/流出 減圧あり:圧力指定:-2[kPa] |
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Moving_Wal/Facel |
流体 |
固体壁 |
移動壁を選択 移動壁の設定 壁の運動:並進 速度:0.5[m/s] |
解析結果
第2相体積分率のコンタ図を表示します。
減圧なしでは気泡が入り込んで出口方向へ移動していく様子が見られます。
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時刻 |
減圧なし |
減圧あり |
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0[s] |
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0.01[s] |
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0.015[s] |
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0.0175[s] |
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0.02[s] |
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出口の液面の位置を「VOF_CaptureBoundary_Macro.xlsm」を使用して取得した結果を示します。
減圧なしでは液面が大きく振動しているのに対して、減圧ありの場合は、0.08[mm]程度で推移していることから、均一な膜が製膜できることが分かります。













