| 概要 | SEMやAFMなどの微小領域観察では、観察対象の位置を高精度に把握する3次元スキャナが用いられます。 本事例では、円筒形の圧電素子で構成された3次元スキャナを対象に、荷重に応じて各検出電極に発生する電圧を解析し、位置検出や位置制御への適用を検討します。 |
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| モデル解説 | 解析モデルは、円筒形の圧電素子の側面に、X方向、Y方向、Z方向の検出電極を配置した構造です。 圧電素子に荷重を加えた際に各電極に発生する電圧を評価し、3次元スキャナの位置検出に利用します。 |
| 結果解説 | 解析の結果、荷重方向に応じて、X方向、Y方向、Z方向の各検出電極に電圧が発生する様子を確認しました。 各電極の出力電圧を比較することで、3次元スキャナに加わる荷重方向を把握できます。これにより、圧電センサを用いた位置検出や位置制御の設計検討に活用できます。 |
| キーワード | 3次元スキャナ,圧電センサ,位置検出,荷重検出,位置制御,計測装置 |
