圧電素子(ピエゾ素子)によって構成された3次元スキャナー(3次元走査素子)

概要	SEMやAFMなどの微小領域を観察する際に使用される圧電素子によって構成された3次元スキャナ(走査素子)の解析事例を紹介する。
モデル解説	円筒形の圧電素子側面に、X方向用、Y方向用、Z方向用の検出電極を貼り付け、荷重に応じて電極に発生する電圧をモニタリングすることで、位置制御する。
キーワード	圧電素子,3次元スキャナー,SEM,AFM