| 概要 | 表面弾性波は、圧電基板の表面を伝搬する弾性波で、SAWデバイスなどに利用されます。 本事例では、タンタル酸リチウム（LiTaO3）基板上に配置した櫛歯電極に交流電位を印加し、圧電体表面を伝搬する表面弾性波の挙動を解析します。 |
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| モデル解説 | 解析モデルでは、圧電体の左上部に櫛歯電極を周期的に配置し、1 GHzの交流電位を印加します。 圧電体材料にはタンタル酸リチウム（LiTaO3）を設定し、下部と右部には開放境界を設定して反射を抑制します。 |
| 結果解説 | 解析の結果、周期的に配置した櫛歯電極から表面弾性波が励振され、圧電体表面を右方向へ伝搬する様子を確認しました。 結果コンター図では変位の大きさを示し、変形図では表面波の伝搬状態が分かりやすいように自動スケールで強調表示しています。 本解析事例の動画がFemtet公式Youtubeチャンネルにもありますので是非ご覧ください。 こちらをクリック |
| キーワード | 表面弾性波,SAW,櫛歯電極,圧電基板,波動伝搬,高周波解析 |
