| 概要 | 半導体装置などに使用される真空チャンバ内にるつぼが配置された場合の 誘導加熱によるるつぼの熱解析をおこないました。 |
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| モデル解説 | 解析モデルを図1に示します。チャンバモデル内に、コイルモデルがあり その内側にるつぼと非加熱物があります。 |
| 結果解説 | 電磁波解析の結果を図2に示します。誘導電流が発生し、ジュール損が発生することがわかります。 結果インポートのダイアログを図3に示します。 この損失密度（＝発熱密度）として、熱流体解析に転用します。 熱流体解析の結果を図4に示します。 この結果、るつぼと被加熱物が温められることがわかります。 ※本来は真空チャンバなので、対流は発生しませんが、今回は流体部をあえて空気として 自然対流による空気が温められる様子も示しています。 ※損失密度は電場解析/磁場解析/電磁波解析の結果として出力できるので 今回のような電磁波以外でも柔軟に熱流体解析に対応することができます。 |
| キーワード | るつぼ,半導体装置,コイル |
図1 解析モデル
図2 電磁波解析結果
図3 結果インポート
図4 熱流体解析結果
