例題22

カソード静磁界解析

本例題について

スパッタ装置内のカソード部分を静磁界解析した例です。
磁界ベクトルや磁束密度ベクトルを解析結果として見ることができます。
表に記載されていない条件は初期設定の条件を使用します。

解析空間

項目	条件
解析空間	3次元
モデル単位	mm

解析条件

項目	条件
ソルバ	磁場解析[Gauss]
解析の種類	静解析
解析オプション	なし

モデル図

ヨークと複数の磁石を定義しています。

対称性を考慮し、1/4モデルで解析を行っています。

ボディ属性および材料の設定

ボディ No./ボディタイプ	ボディ属性名	材料名
22/Solid	Yoke	Yoke
9/Solid	MagOut	Mag
10/Solid	MagOut	Mag
11/Solid	MagOut	Mag
17/Solid	MagOut	Mag
18/Solid	MagOut	Mag
19/Solid	MagOut	Mag
21/Solid	MagCenter	Mag

※材料データベースを利用

材料定数は以下のように設定しています。

材料名	タブ	定数
Mag	透磁率	材料タイプ：永久磁石
Mag	磁石	磁化の強さ：　1.0

各ボディ属性の磁化の方向を以下のように設定しています。

ボディ属性名	タブ	設定
MagOut	方向	ベクトル：X=0.0, Y=0.0, Z=-1.0
MagCenter	方向	ベクトル：X=0.0, Y=0.0, Z=1.0

境界条件

1/4対称モデルですので、対称面となる2面に対称境界を付与しています。

境界条件名/トポロジ	タブ	境界条件の種類	条件
Sym1/Face	対称/不連続	対称面
Sym2/Face	対称/不連続	対称面

解析結果

磁束密度ベクトルの解析結果を示します。

ヨークの縁に配置した磁石から出た磁束が、ヨーク内を通って中心の磁石へ流れているのが分かります。

磁界ベクトルの解析結果を示します。

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